並列接続MOSFETを用いたしきい値電圧標準偏差の測定評価

URI http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/hiroshima-cu/metadata/6874
File
Title
並列接続MOSFETを用いたしきい値電圧標準偏差の測定評価
Title Alternative
Measurement of Standard Deviation for Threshold Voltage Using Parallel-Connected MOSFETs
Author
氏名 寺田 和夫
ヨミ テラダ カズオ
別名 TERADA Kazuo
氏名 最上 徹
ヨミ モガミ トオル
別名 MOGAMI Toru
Subject
MOSFET
しきい値電圧
標準偏差
ドレーン電流
テスト回路
並列接続
Abstract

大量の同一構造MOSFETを並列接続したテスト回路を用いて,しきい値電圧の標準偏差を簡単に測定する方法を提案している.このテスト回路を一つのMOSFETとみなし,そのドレーン電流とゲート電圧の関係からしきい値電圧を抽出すると,その値は同回路に含まれるすべてのMOSFETのしきい値電圧の平均値よりも標準偏差に関係した量だけ異なる値を示す.このことを利用すると,MOSFETのしきい値電圧標準偏差を簡単に測定することができる.本論文はその測定原理,単体MOSFETを用いたその実験的確認,そして精度に関する議論を述べている.

Description Peer Reviewed
Journal Title
電子情報通信学会論文誌. C-II, エレクトロニクス, II-電子素子・応用
Volume
J79-C2
Issue
11
Spage
691
Epage
697
Published Date
1996-11-25
Publisher
社団法人電子情報通信学会
ISSN
0915-1907
NCID
AN10071294
NAID
110003314865
Language
jpn
NIIType
Journal Article
Text Version
出版社版
Rights
copyright©1996 IEICE
Relation URL
Old URI
Set
hiroshima-cu