実効チャネル長抽出における測定誤差
| URI | http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/hiroshima-cu/metadata/6876 | ||||||
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| ファイル |
J78-C2_9_482.pdf
( 458.0 KB )
公開日
：2010-07-30
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| タイトル |
実効チャネル長抽出における測定誤差
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| 著者 |
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| キーワード |
MOSFET
実効チャネル長
測定誤差
最小2乗法
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| 抄録 |
実効チャネル長の抽出方法の精度を調べるために,そこで使用される最小2乗法における誤差の振舞いを調べた.その結果,「抽出に使用するデータ数を増やすことは主に測定データ値のばらつきを抑える効果をもち,部分的ではあるが測定誤差の低減にも効果をもつ」ことが明らかになった.次に,この結果に基づき実測データを用いた実効チャネル長の抽出結果を考察した.使用した試料においては,短チャネルMOSFETで設計チャネル長と実効チャネル長の間の線形関係のずれが大きくなる傾向が見られた.このような場合,使用するMOSFETとして長短両チャネルMOSFETを含むなるべく多くのMOSFETを使うことが好ましいことがわかった. |
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| 査読の有無 |
有
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| 掲載雑誌名 |
電子情報通信学会論文誌. C-II, エレクトロニクス, II-電子素子・応用
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| 巻 |
J78-C2
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| 号 |
9
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| 開始ページ |
482
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| 終了ページ |
488
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| 出版年月日 |
1995-09-25
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| 出版者 |
社団法人電子情報通信学会
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| ISSN |
0915-1907
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| NCID |
AN10071294
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| NAID |
110003314765
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| 本文言語 |
日本語
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| 資料タイプ |
学術雑誌論文
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| 著者版フラグ |
出版社版
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| 権利情報 |
copyright©1995 IEICE
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| 関連URL | |||||||
| 旧URI | |||||||
| 区分 |
hiroshima-cu
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