Effects of Material Properties on Ductile Mode Machining in Ultra-precision Grinding of Lithium Niobate

URI http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/hkg/metadata/11943
File
Title
Effects of Material Properties on Ductile Mode Machining in Ultra-precision Grinding of Lithium Niobate
Author
氏名 Nakamura Masayoshi
ヨミ ナカムラ マサヨシ
別名
氏名 Fujiyama Hirokazu
ヨミ フジヤマ ヒロカズ
別名
氏名 Sumomogi Tsunetaka
ヨミ スモモギ ツネタカ
別名
Subject
lithium niobate
ductile mode machining
ultra precision grinding
Abstract

With improvements in many precise instruments, the necessity of high quality surfaces for optical devices and memory devices has become a major concern. In recent years, lithium niobate (LiNbO3) has been used with excellent optical and electrical characteristics in a wide range of optical fields. In addition, lithium niobate has been studied as a potential material for holographic data storage.
In order to obtain the necessary high quality surfaces, new methods for finish machining of brittle materials, ductile mode machining, need to be considered. In this study, lithium niobate with (0001) plane was used to observe the propagation of surface cracks under a number of experimental conditions. In the microhardness test, the crystallographic dependence was obtained; direction <1210> had an especially large number of surface cracks. However, in the grinding test, crack-free surfaces were observed.

球面形状を必要とする製品や光学部品の高精度化に伴い,より高い表面精度や加工能率が必要とされてきている。ニオブ酸リチウム(LiNbO3)は熱的にきわめて安定で光学的,電気的に非常に優れ光通信分野を中心として多くの研究がなされている。
これらの高品質な表面を得るためには,脆性材料に対する延性モード加工を用いた新たな方法を考慮する必要がある。本研究では,ニオブ酸リチウムの(0001)面に対し,いくつかの実験条件について表面クラックの観察を行った。その結果,微小硬さ試験では結晶方位依存性が得られ,特に<1210>方向について多数の表面クラックが発生したが,研削試験では亀裂のない表面が観察された。

Description Peer Reviewed
査読有
Journal Title
広島国際学院大学研究報告
Volume
45
Spage
11
Epage
20
Published Date
2012-12
Publisher
広島国際学院大学
ISSN
1345-3858
NCID
AA11419398
Language
eng
NIIType
Departmental Bulletin Paper
Text Version
出版社版
Old URI
Set
hkg