自己補償型ラングミュアプローブの作製について

URI http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/hkg/metadata/1517
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タイトル
自己補償型ラングミュアプローブの作製について
別タイトル
How to Make the Self-Compensated Langmuir Probe
著者
氏名 久保 隆
ヨミ クボ タカシ
別名 Kubo Takashi
氏名 田中 誠
ヨミ タナカ マコト
別名 Tanaka Makoto
キーワード
radio frequency
plasma
self-compensated
probe
parallel resonance circuit
抄録

When the rf plasma parameter is measured using the Langmuire probe,the influence from the plasma potential fluctuations will be a problem. The self-compensated Langmuire probe is one of the methods to overcome this problem. We have suggested that it is effective to use the LC parallel resonance circuit as a high impedance circuit for this probe system. However,there are various difficulties in selecting the circuit elements and their adjustments. As the simple measurement system,we have made several high impedance circuits for this purpose. In this paper,we are going to describe how to make this probe in detail.

rfプラズマを測定する際にプラズマ空間電位の時間変動成分からの影響が問題になる。 これを防ぐための方法の一つに自己補償型ラングミュアプローブがある。このプローブに用いられる高インピーダンス回路としてLC並列共振回路を用いることが有効であるが,回路素子の選定及びその調整法には様々な困難がある。我々はこの目的のため単純な測定系として,高いインピーダンスを持つ回路を作製した。そこで今回自己補償型プローブの作製法について詳細に記述する。

掲載雑誌名
広島国際学院大学研究報告
33
開始ページ
1
終了ページ
8
出版年月日
2000
出版者
広島国際学院大学
ISSN
1345-3858
NCID
AA11419398
本文言語
日本語
資料タイプ
紀要論文
著者版フラグ
出版社版
旧URI
区分
hkg