自己補償型ラングミュアプローブ測定系におけるノイズ低減の試み

URI http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/hkg/metadata/592
File
Title
自己補償型ラングミュアプローブ測定系におけるノイズ低減の試み
Title Alternative
An Approach for Reducing the Noise from the Self-Compensated Langmuir Probe System
Author
氏名 久保 隆
ヨミ クボ タカシ
別名 Kubo Takashi
Subject
RF
Plasma
Probe
Circuit
Noise
Abstract

Although the method of inserting electrodes probes in a plasma is effective to determine electron temperature, electron density and plasma potential, many problems have been appeared in the real measurements of the physical properties of plasma for using ordinary electrical probes. One of these difficulties is the noise which is contained in the signals through the probe. This paper proposes a new method of the noise suppression. The isolation between circuits for measurements and power lines in high frequency regions, reduces the peak to peak value of noise currents significantly, namely below 10μA.

プラズマ中に電極を挿入して測定を行う手法は,電子温度,電子密度そしてプラズマポテンシャルの値を決定するのに効果的であるが,一般的な静電プローブを用いたとしても,プラズマの物理的特性を実際に測定する際には多くの問題が持ち上がってくる。これらの問題の一つにプローブからの信号に含まれるノイズの存在がある。本論文は,このノイズを抑制する新規の手法を提案している。高周波領域において測定回路と電力線間を絶縁することで,ノイズ電流のピークピーク値を10μAと大幅に抑制した。

Journal Title
広島国際学院大学研究報告
Volume
40
Spage
1
Epage
8
Published Date
2007
Publisher
広島国際学院大学
ISSN
1345-3858
Language
jpn
NIIType
Departmental Bulletin Paper
Text Version
出版社版
Old URI
Set
hkg