プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール(PEGASUS)の電磁気学への応用

URI http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/it-hiroshima/metadata/3795
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タイトル
プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール(PEGASUS)の電磁気学への応用
別タイトル
Application of Plasma Enhanced Materials Processing and Rarefild GAS Dynamics Unified Simulation Tools (PEGASUS) to Electromagnetics
著者
氏名 田中 武
ヨミ タナカ タケシ
別名 Tanaka Takeshi
氏名 高崎 敏英
ヨミ タカサキ トシヒデ
別名 Takasaki Toshihide
氏名 田中 正明
ヨミ タナカ マサアキ
別名 Tanaka Masaaki
氏名 野島 洋一
ヨミ ノジマ ヨウイチ
別名 Nojima Youichi
NDC
549.7
抄録

Plasma Enhanced materials processing and rarefied GAS dynamics Unified Simulation tools(PEGASUS) was introduced and its application to electromagnetic was described. The result of semiconductor process simulation using application program (PEGASUS) concerning to the electromagnetic was shown. It was found that the difference of the viewpoint between theory and application of electromagnetic. It was shown that the possibility of extension of lecture's content at the university using the application program concerned with the electromagnetic.

掲載雑誌名
広島工業大学紀要. 教育編
2
開始ページ
5
終了ページ
8
出版年月日
2003
出版者
広島工業大学
ISSN
13469983
NCID
AA11599121
本文言語
日本語
資料タイプ
紀要論文
著者版フラグ
出版社版
旧URI
区分
it-hiroshima