YAGレーザーによる微細加工の研究
URI | http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/it-hiroshima/metadata/7106 | ||||||||||||||||||||||||
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ファイル |
kenkyuhen36031.pdf
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公開日
:2010-11-10
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タイトル |
YAGレーザーによる微細加工の研究
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別タイトル |
A Study on Micro Material Processing by YAG Laser
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著者 |
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キーワード |
Laser wavelength dependence
the micro laser material processing
Q-switched YAG laser
second and forth harmonic light pulses.
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NDC |
431.57
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抄録 |
The laser wavelength dependence on the micro laser material processing mechanism is investigated. Several material targets were irradiated by the focused Q-switched YAG laser and its second and forth harmonic light pulses. After the laser pulses irradiated,a small hole of the focused laser light beam diameter was observed on the target surface. The depth of holes increase in the shorter wavelength laser pulses irradiation |
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掲載雑誌名 |
広島工業大学紀要. 研究編
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巻 |
36
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開始ページ |
31
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終了ページ |
35
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出版年月日 |
Feb-02
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出版者 |
広島工業大学
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ISSN |
13469975
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NCID |
AA11599110
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本文言語 |
日本語
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資料タイプ |
紀要論文
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著者版フラグ |
出版社版
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関連URL | |||||||||||||||||||||||||
旧URI | |||||||||||||||||||||||||
区分 |
it-hiroshima
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