YAGレーザーによる微細加工の研究

URI http://harp.lib.hiroshima-u.ac.jp/it-hiroshima/metadata/7106
ファイル
タイトル
YAGレーザーによる微細加工の研究
別タイトル
A Study on Micro Material Processing by YAG Laser
著者
氏名 矢野 雅昭
ヨミ ヤノ マサアキ
別名 Yano Masaaki
氏名 越智 秋雄
ヨミ オチ アキオ
別名 Ochi Akio
氏名 中本 修樹
ヨミ ナカモト シュウキ
別名 Nakamoto Syuuki
氏名 池内 隆
ヨミ イケウチ タカシ
別名 Ikeuchi Takashi
キーワード
Laser wavelength dependence
the micro laser material processing
Q-switched YAG laser
second and forth harmonic light pulses.
NDC
431.57
抄録

The laser wavelength dependence on the micro laser material processing mechanism is investigated. Several material targets were irradiated by the focused Q-switched YAG laser and its second and forth harmonic light pulses. After the laser pulses irradiated,a small hole of the focused laser light beam diameter was observed on the target surface. The depth of holes increase in the shorter wavelength laser pulses irradiation

掲載雑誌名
広島工業大学紀要. 研究編
36
開始ページ
31
終了ページ
35
出版年月日
Feb-02
出版者
広島工業大学
ISSN
13469975
NCID
AA11599110
本文言語
日本語
資料タイプ
紀要論文
著者版フラグ
出版社版
関連URL
旧URI
区分
it-hiroshima